1. Dimensiones de las cámaras:

• Diámetro, mm - 700-1500

• Altura o longitud, mm - 800-1500

• Cámaras de vacío verticales

2. Además de los medios tradicionales de bombeo se aplican las bombas criogénicas y turbomoleculares.

3. El complemento tecnológico puede ser del mando inferior o superior (top drive), con cúpula desmontable, tipo planetario.

4. Fuentes tecnológicas:

• Evaporadores de haz de electrones

• Fuentes iónicas de gas

• Evaporadores resistivos con el dosificador para la sustancia pulverizada

• Fuentes de magnetrón.

5. Los bastidores de alimentación y control del sistema presuponen la aplicación de los componentes importados del Reino Unido, Alemania, Japón, EE.UU. 

El sistema garantiza el proceso de trabajo en el modo automático con la visualización de las características en la pantalla de la computadora.