1. El número de cámaras – 3-7 piezas.
2. El tamaño de los sustratos:
anchura - 3000 mm
longitud - 4,000 mm
3. El número de magnetrones – 2-7 piezas.
4. El número de fuentes de iones – 1-3 piezas.
5. El tiempo del ciclo - 60 segundos.
6. La potencia de la fuente de alimentación del magnetrón – 10-70 kW
Leyenda:
1. Calentador
2, 3, 5, 7, 9. Cámara
4. Fuente de iones
6,8. Magnetrones
10. Producto
11, 12. Bastidores de alimentación
13. Bastidor de control
14. Sistema de vacío preliminar
15. Sistema de alto vacío
16. Bastidor de gestión
17. Compuerta
I - V. Cámaras